微凹槽作為功能微結(jié)構(gòu)的一種,在很多領域都有應用,如微流控、減阻表面等,在一些特征零件上,微凹槽也是一個重要組成部分,如彈性敏感元件、陣列結(jié)構(gòu)等。金屬表面的微凹槽加工中,幾十微米寬的微凹槽加工相對困難,基于刀具軌跡運動加工方式能較好地填補這一空缺�；诘毒哕壽E運動加工方法現(xiàn)有的研究充分體現(xiàn)了其在這一尺度范圍內(nèi)優(yōu)秀的加工能力,但仍有很大的加工潛力,如平面的加工、幾十微米寬凹槽的加工等。本文針對基于刀具軌跡運動加工的特點,建立了切削力模型,對切削過程進行了分析,探討了不同加工參數(shù)對平面加工、凹槽加工的影響,并規(guī)劃了微凹槽加工的工藝流程,具體研究內(nèi)容包括以下幾個方面:首先,建立了基于三棱錐刀具軌跡運動加工的切削力模型,將每個切削周期分成多個部分,分析了隨著刀具的軌跡運動加工過程中未變形切削厚度、法向前角以及切削力的變化規(guī)律。對其中某一特定的前進方向進行計算分析。然后,通過一系列實驗研究基于刀具軌跡運動加工的加工能力。研究壓電位移臺的工作特性,確定壓電位移臺較好的工作參數(shù)。通過不同前進方向下的切削實驗,對切削力和表面形貌的進行對比分析,揭示了一次走刀時進給方向、切削深度等因素對切削力、棱邊頂部毛... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】：76 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

飛秒激光加工及相應加工的微結(jié)構(gòu)

圖 1-1 微細超聲振動及相應加工的微結(jié)構(gòu)[3-5]微細電化學加工、微細電火花加工和微細超聲波加工都有采用微細工具，通工具與基體間的作用去除材料，從而達到加工的目的。這種加工方式加工尺寸、置精確，且不受工具剛度影響，因此易加工復雜形狀。但微細工具的外包絡面相于傳統(tǒng)刀具形狀，由于材料限制、工具在加工中的損耗等，工具的尺寸受到限制

電子束曝光加工原理及加工的微圓錐結(jié)構(gòu)


本文編號：2978369