發(fā)布時間：2020-05-08 16:03

【摘要】：劃片機作為劃片加工設備影響著半導體及LED行業(yè)的發(fā)展。國內的劃片機市場一直被國外精密全自動劃片機占領,所以研發(fā)國際領先的劃片設備十分必要�？諝忪o壓電主軸是砂輪劃片機的關鍵零部件之一,因此本文針對劃片機用空氣靜壓電主軸進行了結構設計和性能仿真。本文的主要研究內容如下:(1)通過對電機和軸承的選擇確定了電主軸的整體結構,在整體結構的基礎上對電主軸的冷卻、密封、碳刷及氣鎖機構進行設計,最終完成了空氣靜壓電主軸的結構設計,并且建立了三維模型。對于設計后的電主軸,完成了對標準件的選型和非標準件的材料選擇,然后對非標準件進行了加工工藝規(guī)劃,并且已經完成了對部分零件的加工。(2)電主軸的空氣靜壓軸承需要在已有整體結構的基礎上完成細節(jié)尺寸的設計。本文通過空氣靜壓軸承經典工程設計算法完成了對空氣靜壓軸承的設計計算,為之后的仿真分析提供了基礎,另外估算了軸承的承載剛度等性能,與之后仿真分析結果作對比。(3)在結構設計和計算過程中逐漸完善并最終完成空氣靜壓軸承的結構設計。從承載、剛度和功能方面考慮,決定采用四個雙排孔徑向軸承和一對止推軸承的設計方案。為了加工、定位及裝配方便現(xiàn)將一個止推軸承和四個徑向軸承設計為一體,在連接部位設計氣腔以減小擴散效應,與外殼配合設計氣體流通回路保證軸承正常使用,對于小孔部分設計小孔節(jié)流器以避免在圓柱面上加工微小孔。(4)利用軟件ANSYS及FLUENT完成了對空氣靜壓軸承的仿真分析。通過簡化軸承模型抽取氣體流場作為空氣靜壓軸承的仿真模型,以實際工況作為邊界條件,驗證了設計計算的結果。通過改變不同的工作壓力、小孔直徑、氣膜厚度及偏心大小,根據仿真結果,優(yōu)化了軸承模型。
【圖文】：

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劃片機用空氣靜壓電主軸結構設計與性能分析當時占有８０％的市場份額，自此以后，日本Ｄｉｓｃｏ公司生產的劃片機機的市場中也一直處于重要的位置。隨后世界上也有其它公司研制成，目前世界上的主要劃片機生產廠家有：日本Ｄｉｓｃｏ公司、東京精密韓國ＮＥＯＮＴＥＣＨ公司、以色列ＡＤＴ公司、英國Ｌｏａｄｐｏｉｎｔ公司等。代表產片如下圖所示。逡逑；
【學位授予單位】：湖南大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2018
【分類號】：TH133.2

【參考文獻】

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1 張維煜;朱q，

本文編號：2654886