發(fā)布時(shí)間：2020-05-05 11:29

【摘要】： 在工業(yè)制造過(guò)程中,非接觸搬運(yùn)技術(shù)由于其無(wú)接觸、無(wú)表面擦傷、無(wú)靜電等優(yōu)點(diǎn)具有廣泛的應(yīng)用前景和重要的研究意義。目前非接觸搬運(yùn)技術(shù)主要有電磁式、超聲波式和空氣懸浮式等幾種方式。其中,空氣懸浮技術(shù)又分為空氣吹浮式和負(fù)壓吸附式,本文針對(duì)非接觸渦流負(fù)壓搬運(yùn)器的流場(chǎng)特性進(jìn)行了如下工作： 首先,闡述了非接觸渦流負(fù)壓搬運(yùn)器的工作原理,并推導(dǎo)出流場(chǎng)內(nèi)徑向壓力分布公式。將其結(jié)果與仿真結(jié)果、實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比,三者的吻合性較好,驗(yàn)證了所推導(dǎo)壓力公式的正確性。 其次,采用gambit建立不同結(jié)構(gòu)搬運(yùn)器三維流場(chǎng)仿真模型,采用非結(jié)構(gòu)化網(wǎng)格劃分方法；在FLUENT軟件中采用RNG k-ε湍流模型進(jìn)行流場(chǎng)計(jì)算；對(duì)不同工況條件下的壓力場(chǎng),速度場(chǎng)、提升力等特性進(jìn)行了分析,獲得了渦流吸附負(fù)壓效應(yīng)影響因素和變化規(guī)律。 此外,為驗(yàn)證理論數(shù)值仿真的正確性,設(shè)計(jì)并搭建了壓力、提升力測(cè)試實(shí)驗(yàn)臺(tái),分別對(duì)不同結(jié)構(gòu)搬運(yùn)器及不同工況下搬運(yùn)器的壓力分布、提升力等特性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)測(cè)試,并將實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論計(jì)算、仿真結(jié)果進(jìn)行對(duì)比。 最后,設(shè)計(jì)并制作了由多個(gè)相同結(jié)構(gòu)搬運(yùn)器組成的搬運(yùn)盤(pán),并搭建了搬運(yùn)實(shí)驗(yàn)臺(tái),進(jìn)行了搬運(yùn)效果的測(cè)試,實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了非接觸負(fù)壓搬運(yùn)的可行性。
【圖文】：

圖1.2空氣懸浮式玻璃基板搬運(yùn)系統(tǒng) Fjg.1.2GlasssubstratehandlingsystemaboutairsusPension圖1.2是日本著名的氣動(dòng)元件生產(chǎn)商sMC公司的空氣懸浮式玻璃基板搬運(yùn)系統(tǒng)[3]。該搬運(yùn)技術(shù)是應(yīng)用流體力學(xué)原理，使壓縮流體通過(guò)壓力室上的多孔質(zhì)體形成一層氣體膜，流體對(duì)工件施加的壓力與工件自身的重量達(dá)到平衡而使工件保持平穩(wěn)。空氣懸浮式

空吸附方式來(lái)夾持工件，由機(jī)器人手臂來(lái)實(shí)現(xiàn)精密定位與上下料等操作;(3)在不同工位間平板的輸送由托盤(pán)或卡匣來(lái)存放，并配合機(jī)器人手臂在臺(tái)架和卡匣之間進(jìn)行放入和取出操作l3]。如圖1.1就是搬運(yùn)玻璃基板的機(jī)械搬運(yùn)系統(tǒng)。在傳統(tǒng)搬運(yùn)技術(shù)中，由于玻璃基板與滾輪、晶片與吸盤(pán)進(jìn)行接觸，玻璃基板和晶片表面不可避免會(huì)受到損傷而影響生產(chǎn)品質(zhì)，，所以發(fā)展新型的非接觸搬運(yùn)技術(shù)己刻不容緩。據(jù)目前掌握的資料所知面板工件的非接觸搬運(yùn)技術(shù)的研究主要集中在日本、美國(guó)、臺(tái)灣等發(fā)達(dá)國(guó)家和地區(qū)131，主要的非接觸搬運(yùn)技術(shù)有氣動(dòng)懸浮式、超聲波懸浮式、負(fù)壓吸附式等方式。
【學(xué)位授予單位】：大連海事大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2010
【分類號(hào)】：TH24

【引證文獻(xiàn)】

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2 鄒明明;李小寧;滕燕;;非接觸式真空吸取動(dòng)態(tài)過(guò)程試驗(yàn)研究[J];液壓與氣動(dòng);2011年03期

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本文編號(hào)：2650068