本文關(guān)鍵詞： 伺服閥 自動(dòng)化 疊合量 氣動(dòng)測(cè)量　出處：《液壓與氣動(dòng)》2017年05期 　論文類(lèi)型：期刊論文

【摘要】：為了提高小流量電液伺服閥疊合量的測(cè)量效率,實(shí)現(xiàn)疊合量氣動(dòng)測(cè)量過(guò)程的自動(dòng)化,分析了電液伺服閥疊合量氣動(dòng)測(cè)量方法的原理及特點(diǎn),采用壓力式和流量式氣動(dòng)測(cè)量方法實(shí)現(xiàn)閥芯自動(dòng)對(duì)中和疊合量自動(dòng)精確測(cè)量。從機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和控制系統(tǒng)方案上提出了自動(dòng)化策略,研制了一套小流量電液伺服閥疊合量氣動(dòng)測(cè)量臺(tái),實(shí)現(xiàn)疊合量高精度測(cè)量的全過(guò)程自動(dòng)化。通過(guò)實(shí)驗(yàn)和工程實(shí)踐驗(yàn)證,該測(cè)量臺(tái)的疊合量測(cè)量精度達(dá)到±0.5μm,且重復(fù)精度達(dá)到±0.5μm。
[Abstract]:In order to improve the measuring efficiency of the superposition of electro-hydraulic servo valve with small flow rate and realize the automation of the pneumatic measurement process of the superposition, the principle and characteristics of the pneumatic measurement method for the superposition of electro-hydraulic servo valve are analyzed. The pneumatic measurement method of pressure and flow is used to realize the automatic accurate measurement of the valve core's neutralization and superposition, and the automatic strategy is put forward from the mechanical structure design and control system scheme. A small flow electro-hydraulic servo valve superposition pneumatic measuring platform is developed to automate the whole process of high precision measurement of superposition quantity. The experiment and engineering practice show that the precision of superposition measurement is 鹵0.5 渭 m, and the repetition precision is 鹵0.5 渭 m.
【作者單位】： 華中科技大學(xué)自動(dòng)化學(xué)院;上海航天控制技術(shù)研究所;
【分類(lèi)號(hào)】：TH137.52

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1528282