發(fā)布時間：2017-10-12 20:05

  本文關鍵詞：等剛度高靈敏探頭彈性機構設計

  更多相關文章： 彈性機構 微納米三坐標測量機 剛度

【摘要】：針對微型和小型元件的測量問題,設計了一種微納米三坐標測量機的接觸式探頭高靈敏彈性機構。彈性機構由鈹銅合金簧片、鋁合金懸浮片、鋼混合玻璃纖維探針以及紅寶石測球構成。當測球與被測物體接觸時,簧片產(chǎn)生彈性形變,根據(jù)彈性理論對彈性機構進行分析并對尺寸進行優(yōu)化設計,得出彈性機構的剛度可以達到0.110 m N/μm以下。最后通過ANSYS軟件對彈性機構進行仿真驗證,分析結果的正確性并得出結論。
【作者單位】： 安徽電氣工程職業(yè)技術學院;合肥工業(yè)大學儀器科學與光電工程學院;
【關鍵詞】： 彈性機構 微納米三坐標測量機 剛度
【基金】：安徽省高校自然科學研究重點項目(KJ2015A410) 安徽電氣工程職業(yè)技術學院重點科研項目(2015zdxm06,2015zdxm05)
【分類號】：TH721
【正文快照】： 由于現(xiàn)代先進機械制造業(yè)不斷向高精密領域發(fā)展,電火花加工、激光加工等精密與超精密、微細與超微細加工技術越來越廣泛的應用于現(xiàn)代制造業(yè)[1-2]。當零件的尺寸在厘米量級且精度要求在微米級甚至以下時,傳統(tǒng)的三坐標測量機便不能滿足測量的要求[3],所以研制測量范圍小、測量精

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 錢劍釗;黃強先;李瑞君;龔偉;王志偉;王晨晨;;納米三坐標測量機模擬接觸式探頭的標定(英文)[J];傳感技術學報;2012年05期

2 劉芳芳;費業(yè)泰;夏豪杰;;納米坐標測量機的三維接觸式測頭機構[J];納米技術與精密工程;2011年03期

3 陳賀;陳曉懷;王珊;楊橋;李瑞君;;微納米測量機測頭結構的參數(shù)設計及分析[J];計量學報;2013年05期

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 李瑞君;納米三坐標測量機三維大量程接觸掃描探頭系統(tǒng)的研制[D];合肥工業(yè)大學;2013年

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 周斌;王鵬宇;陳晶;張雅雯;李瑞君;;等剛度高靈敏探頭彈性機構設計[J];齊魯工業(yè)大學學報(自然科學版);2017年01期

2 李偉偉;李雅寧;白偉;;精密接觸掃描測頭機械系統(tǒng)關鍵技術研究[J];現(xiàn)代制造技術與裝備;2016年01期

3 陳賀;金珍;王榜;胡宇飛;曹杰;于桂陽;樸炳仁;李恒濱;;基于光電檢測的IC綁定壓頭系統(tǒng)設計[J];機械制造與自動化;2015年06期

4 裘祖榮;陳波;李杏華;;基于反轉法的平行雙關節(jié)坐標測量機的標定[J];天津大學學報(自然科學與工程技術版);2014年06期

5 陳曉懷;陳賀;王珊;李瑞君;高偉;;微納測量機測頭彈性結構的參數(shù)設計[J];光學精密工程;2013年10期

6 陳賀;陳曉懷;王珊;楊橋;李瑞君;;微納米測量機測頭結構的參數(shù)設計及分析[J];計量學報;2013年05期

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 劉辰光;基于中介層散射原理的共焦顯微測量技術及理論研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2016年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 陳賀;陳曉懷;;微納米測量機工作臺的結構及性能分析[J];組合機床與自動化加工技術;2012年11期

2 何武光;王豹亭;楊春平;康美苓;吳健;;新型零差激光干涉儀測量誤差因素分析[J];計量學報;2012年03期

3 蔡軼珩;向大超;石照耀;韓欣;;球內(nèi)反射式光纖測頭[J];儀器儀表學報;2011年12期

4 費致根;劉宇;郭俊杰;;一種平行片簧結構掃描測頭的研制[J];鄭州大學學報(工學版);2011年04期

5 劉芳芳;費業(yè)泰;夏豪杰;;納米坐標測量機的三維接觸式測頭機構[J];納米技術與精密工程;2011年03期

6 李源;栗大超;胡小唐;趙大博;郭彤;陳津平;;應用于納米測量機的MEMS微接觸式測頭的結構設計和優(yōu)化[J];傳感技術學報;2006年05期

7 范光照,朱志良,鐘添東;小型微/納米級三坐標測量機的研制[J];納米技術與精密工程;2003年01期

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 王晨晨;異端類型三坐標測量機結構原理及誤差修正技術研究[D];合肥工業(yè)大學;2012年

2 程方;納米三坐標測量機測控系統(tǒng)關鍵技術研究[D];合肥工業(yè)大學;2010年

3 李源;MEMS壓阻式三維微觸覺測頭及其在納米測量機上的應用研究[D];天津大學;2007年

，

本文編號：1020638