本文關(guān)鍵詞：主軸微細(xì)超聲振動系統(tǒng)的微振幅測量

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【摘要】：在微細(xì)超聲加工與微細(xì)超聲振動輔助加工中,微振幅是關(guān)鍵的加工參數(shù),直接影響到加工精度與加工效率。對于只有幾μm甚至更小的振幅,很難用傳統(tǒng)的振幅測量方法測量出來。針對主軸微細(xì)超聲振動系統(tǒng)輸出的微振幅,提出了一種新的微振幅在線測量方法。利用精密微三維運(yùn)動平臺的高分辨率,將平臺A軸的運(yùn)動與微細(xì)工具所受實(shí)時力結(jié)合起來,使其形成閉環(huán)運(yùn)動控制系統(tǒng)。通過設(shè)定相同的接觸力,計(jì)算有超聲與無超聲作用于微細(xì)工具A軸坐標(biāo)值的變化,即可獲得微細(xì)工具的振幅值。應(yīng)用這一新的振幅測量方法,成功地測量出精確到0.1μm的振幅值。
【作者單位】： 嶺南師范學(xué)院機(jī)電工程研究所;廣東工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 微振幅 測量 微細(xì)超聲振動系統(tǒng) 微三維運(yùn)動平臺 閉環(huán)控制
【基金】：嶺南師范學(xué)院自然科學(xué)研究項(xiàng)目(ZL1502);嶺南師范學(xué)院“新材料與先進(jìn)制造”協(xié)同創(chuàng)新中心項(xiàng)目(CIL1504)
【分類號】：TB53
【正文快照】： 0引言超聲加工以及超聲輔助加工中,超聲振幅是一個關(guān)鍵的加工參數(shù),關(guān)系到加工效率與加工精度,甚至是實(shí)驗(yàn)的成敗,因此,實(shí)現(xiàn)對超聲振幅的測量至關(guān)重要。目前適合于振幅測量的方法主要有:物理觀察法[1-2]、電測法[3]、光學(xué)法[4-5]等。物理觀察法主要是利用高頻振動特性及視覺滯留

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：939592