本文關(guān)鍵詞：基于玻璃基底的透明導(dǎo)電金膜的光學(xué)性質(zhì)

  更多相關(guān)文章： 直流濺射 透明導(dǎo)電金膜 橢圓偏振儀 島狀生長(zhǎng)模式

【摘要】：采用直流濺射法,通過(guò)調(diào)節(jié)濺射時(shí)間和濺射電流,在玻璃基底上成功制備出不同厚度的透明導(dǎo)電金膜.通過(guò)橢圓偏振儀測(cè)量了透明導(dǎo)電金膜的厚度及其對(duì)可見(jiàn)光的透過(guò)率,利用四探針、掃描電子顯微鏡分別測(cè)量和表征了透明導(dǎo)電金膜的方塊電阻和表面形貌.研究結(jié)果表明,隨著透明導(dǎo)電金膜厚度的增加,方塊電阻減小,金膜表面連續(xù)性變好,且透明導(dǎo)電金膜厚度為10~13nm時(shí),透明導(dǎo)電金膜的導(dǎo)電性和透過(guò)性的兼顧最佳.通過(guò)實(shí)際中透明導(dǎo)電金膜厚度隨濺射條件的變化,結(jié)合理論膜厚計(jì)算公式可知,直流濺射沉積透明導(dǎo)電金膜為島狀生長(zhǎng)模式.使用橢圓偏振儀測(cè)量了不同入射角度和入射方向上透明導(dǎo)電金薄膜的橢偏參量,發(fā)現(xiàn)在各向同性的玻璃基底上生長(zhǎng)的透明導(dǎo)電金膜的光學(xué)性質(zhì)表現(xiàn)為各向異性.
【作者單位】： 東華大學(xué)理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 直流濺射 透明導(dǎo)電金膜 橢圓偏振儀 島狀生長(zhǎng)模式
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金青年科學(xué)基金資助項(xiàng)目(11305035)
【分類(lèi)號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： 透明導(dǎo)電薄膜是一種對(duì)可見(jiàn)光(λ=400~760 nm)的平均光透射率高(Tavg80%)且電阻率低(ρ10-3Ω·cm)的光電特性薄膜[1].自1907年利用鎘(Cd)制備出氧化鎘(CdO)透明導(dǎo)電薄膜[2]以來(lái),透明導(dǎo)電薄膜的研究備受重視.目前,透明導(dǎo)電薄膜主要包括金屬系、氧化物膜系、非氧化化合物膜系

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前6條

1 李家亮;姜洪義;牛金葉;鄒科;;透明導(dǎo)電氧化物薄膜的研究現(xiàn)狀及展望[J];現(xiàn)代技術(shù)陶瓷;2006年01期

2 鄭世沛;玻璃表面SnO_2透明導(dǎo)電涂層工藝的專(zhuān)利述評(píng)[J];材料導(dǎo)報(bào);1991年08期

3 王振國(guó),蔡s，

本文編號(hào)：806758