本文關鍵詞：適應復雜環(huán)境的真空計

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【摘要】：采用全陶瓷規(guī)管進行電荷屏蔽,實現(xiàn)了對薄膜真空計的改進,以滿足在含有大量帶電離子及飽和水蒸汽等特殊真空環(huán)境中低真空度的快速準確測量。介紹了提高傳感精度且降低溫度及水蒸氣對電容薄膜真空計影響的方法、器件選擇以及單片機控制系統(tǒng)等,并給出了部分測試結果。本文設計的低真空度測量系統(tǒng)具有模塊化、精度高、響應速度快等優(yōu)點,為國內特殊真空環(huán)境下低真空度測量系統(tǒng)提供了設計參考。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學機械工程學院;杭州華達噴射真空設備有限公司;
【關鍵詞】： 電荷屏蔽 飽和水蒸汽 電容薄膜真空計 單片機控制系統(tǒng)
【分類號】：TB772
【正文快照】： 設計復雜環(huán)境下精確測量低真空度真空計測量儀器,電容薄膜真空計的改進是測量系統(tǒng)設計的核心。眾所周知,電容薄膜真空計是迄今為止唯一得到公認的可作為低真空測量工作副標的一種真空儀器,其工作原理是:把加于電容薄膜上的壓力變化產生膜片間距離的變化,即產生了電容的變化,再

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本文編號：771863