本文關(guān)鍵詞：聚合物微結(jié)構(gòu)超聲壓印精密加工系統(tǒng)研究

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【摘要】：超聲壓印技術(shù)是一種聚合物微結(jié)構(gòu)成形的新方法。針對(duì)微米級(jí)超聲加工系統(tǒng)的高精度和高可靠性的要求,設(shè)計(jì)了用于聚合物微結(jié)構(gòu)超聲壓印的精密加工系統(tǒng),推導(dǎo)了換能器動(dòng)力學(xué)模型并求解特征參數(shù),進(jìn)行了有限元仿真與優(yōu)化,并搭建了基于壓力反饋的精密壓印測控平臺(tái)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論分析結(jié)果吻合,設(shè)計(jì)的換能器系統(tǒng)改善了微米級(jí)加工中的加工精度、能量控制和可靠性,為快速批量精密壓印成形的加工系統(tǒng)提供了設(shè)計(jì)和優(yōu)化方法。
【作者單位】： 華東理工大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 超聲壓印 換能器 頻率方程 有限元 柔性電子
【基金】：中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)基金資助項(xiàng)目(WG1514031)
【分類號(hào)】：TB559
【正文快照】： 0引言聚合物材料柔性微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件具有質(zhì)量輕,抗腐蝕,絕緣性能好及成形效率高等優(yōu)點(diǎn),在精密儀器、柔性電子、生物分析芯片等領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景[1]。聚合物熱壓印技術(shù)是近年發(fā)展起來的一種高效率、低成本的微結(jié)構(gòu)復(fù)制方法,但是熱壓成形需要將基片的溫度加熱到玻璃轉(zhuǎn)

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1 陳立峰;盧秉恒;;壓印光刻中紫外光誘導(dǎo)阻蝕膠固化控制計(jì)算[J];光子學(xué)報(bào);2007年S1期

2 鐘顯云;徐清蘭;范斌;;消除輕質(zhì)反射鏡“壓印效應(yīng)”的技術(shù)研究[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年07期

3 謝茂濃 ,潘文元;硅表面磷擴(kuò)散產(chǎn)生的壓印位錯(cuò)“花結(jié)”[J];四川大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1985年04期

4 王莉;盧秉恒;丁玉成;劉紅忠;;壓印光刻中的兩步對(duì)正技術(shù)[J];光子學(xué)報(bào);2006年10期

5 朱成聰,崔景和,韓鋒;用凹孔板培養(yǎng)-壓印法對(duì)鼠疫菌初期集落的觀察[J];地方病通報(bào);1986年02期

6 王海宏;;某型機(jī)機(jī)翼油箱壁板過油孔壓印強(qiáng)化疲勞對(duì)比工藝試驗(yàn)研究[J];實(shí)驗(yàn)室研究與探索;2007年11期

7 林澄;鐘敏霖;范培迅;龍江游;龔鼎為;張紅軍;;皮秒激光制備大面積荷葉結(jié)構(gòu)及其硅橡膠超疏水性壓印研究[J];中國激光;2014年09期

8 趙明朗;;增設(shè)GDX2鋁箔紙壓印選擇功能[J];科技信息;2011年15期

9 楊慧艷;何曉聰;丁燕芳;曾凱;;鋁合金壓印接頭的強(qiáng)度研究[J];應(yīng)用力學(xué)學(xué)報(bào);2014年02期

10 ;[J];;年期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 沈萍;劉衛(wèi)國;;熱壓印工藝的仿真和成型能力評(píng)價(jià)方法[A];2010年西部光子學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議摘要集[C];2010年

2 王海宏;;某型機(jī)機(jī)翼油箱壁板過油孔壓印強(qiáng)化疲勞對(duì)比工藝試驗(yàn)研究[A];第七屆全國MTS材料試驗(yàn)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（二）[C];2007年

中國重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 膜印協(xié);在廣州通過科技成果鑒定[N];中國包裝報(bào);2012年

2 翁崇喜;環(huán)保防偽煙包印刷新寵——激光圖案壓印轉(zhuǎn)移生產(chǎn)線[N];中國包裝報(bào);2005年

3 中國科學(xué)技術(shù)信息研究所;華裔科學(xué)家發(fā)明芯片生產(chǎn)新方法[N];中國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)導(dǎo)報(bào);2002年

4 記者 張孟軍;華裔科學(xué)家發(fā)明芯片生產(chǎn)新方法[N];科技日?qǐng)?bào);2002年

5 董志華;印刷過程的控制[N];中國包裝報(bào);2006年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 史婷;聚合物太陽能電池性能研究及壓印器件的工藝探索[D];華中科技大學(xué);2015年

2 祁娜;聚合物微結(jié)構(gòu)超聲波壓印方法及機(jī)理研究[D];大連理工大學(xué);2016年

3 高育龍;基于熱壓印的連續(xù)浮雕結(jié)構(gòu)石英微光學(xué)元件加工技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2010年

4 孫洪文;微納壓印關(guān)鍵技術(shù)研究[D];上海交通大學(xué);2007年

5 葉向東;基于聚合物模板的變種壓印工藝研究[D];西安交通大學(xué);2010年

6 鐘文;紀(jì)念幣多次壓印成形模擬關(guān)鍵技術(shù)與閃光線缺陷研究[D];華中科技大學(xué);2013年

7 崔良玉;聚合物微器件超聲微焊接壓印工藝研究[D];天津大學(xué);2014年

8 盧迎習(xí);層狀組裝聚合物薄膜的室溫壓印[D];吉林大學(xué);2007年

9 石剛;邊緣壓印技術(shù)在制備功能材料圖案中的應(yīng)用[D];吉林大學(xué);2012年

10 賀永;聚合物微熱壓過程理論及其裝備技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2007年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉福龍;局部淬火壓印接頭力學(xué)性能分析[D];昆明理工大學(xué);2015年

2 羅軍;基于紫外壓印的二元光學(xué)器件制備方法研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

3 馬玉輝;聚合物超聲波壓印成形工藝及優(yōu)化[D];大連理工大學(xué);2015年

4 楊振洲;聚合物微結(jié)構(gòu)平板熱壓印成型工藝研究[D];北京化工大學(xué);2015年

5 屈海兵;用于制作三維軟組織支架的壓印成形系統(tǒng)與工藝研究[D];西安工程大學(xué);2015年

6 曾永怡;基于試驗(yàn)與模擬的5052鋁合金壓印接頭力學(xué)性能研究[D];昆明理工大學(xué);2015年

7 王良江;聚合物微結(jié)構(gòu)超聲波壓印工藝研究[D];大連理工大學(xué);2012年

8 李之棟;反壓印制備PZT納米陣列及其特性研究[D];復(fù)旦大學(xué);2012年

9 顧盼;微納壓印技術(shù)的應(yīng)用及抗粘涂層的研制[D];上海交通大學(xué);2007年

10 史文靜;熱壓印納米結(jié)構(gòu)在化學(xué)纖維結(jié)構(gòu)顯色上的應(yīng)用和研究[D];東華大學(xué);2008年

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