本文關(guān)鍵詞：飛秒激光測量微納材料熱物性參量研究進(jìn)展

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【摘要】：隨著微納加工技術(shù)的發(fā)展,微納尺度下材料的熱物性參量測量變得尤為重要。首先介紹了飛秒激光測量微納尺度下材料熱物性參量的基本原理、測量系統(tǒng)的實現(xiàn)方法,對比了所采用的雙溫模型、雙曲兩步輻射模型、雙曲一步模型、拋物一步模型、雙相滯模型和拋物兩步模型等主要的傳熱模型。其次,介紹了飛秒激光測量物性參量的基本特點。然后,介紹了單波長正面抽運與探測系統(tǒng)、雙波長正面抽運及探測和加熱探測不同側(cè)3種常見結(jié)構(gòu)的飛秒激光物性測量系統(tǒng)。最后,展望了飛秒激光物性測量的研究方向。
【作者單位】： 中國工程物理研究院材料研究所;
【關(guān)鍵詞】： 超快光學(xué) 飛秒激光 微納尺度 物性測量
【分類號】：TB94;TN249
【正文快照】： 引言隨著微電子和微納加工技術(shù)的飛速發(fā)展,微納尺度半導(dǎo)體、金屬器件的熱學(xué)性質(zhì)也受到了越來越多的關(guān)注,對其表面和表面下微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行準(zhǔn)確的定量分析和預(yù)測將直接影響到微納米器件的熱設(shè)計以及熱管理[1]。微納尺度下材料的物性和體材料有著較大差別[2],因此需要對微納尺度下

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