本文關(guān)鍵詞：噴霧裂解法制備摻氟氧化錫導(dǎo)電薄膜

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【摘要】：以單丁基三氯化錫、氟化銨、無水甲醇、超純水為原料制備反應(yīng)熱噴涂液,采用高溫噴霧裂解工藝在玻璃基底上制備氟摻雜氧化錫(FTO)透明導(dǎo)電薄膜,研究了氟摻雜濃度對所制備FTO透明導(dǎo)電薄膜光、電性能的影響。研究結(jié)果表明,制備透明導(dǎo)電薄膜的最佳工藝參數(shù)為:基底溫度500℃、摻雜濃度24 atom%、錫前體濃度0.5 M、噴涂次數(shù)60次及醇水比2:1,對應(yīng)的透明導(dǎo)電玻璃方塊電阻R_(sh)=11.3Ω/sqr,可見光區(qū)平均透光率T_(ave)=77.80%,品質(zhì)因數(shù)Ф_(TC)=7.2×10-3/Ω,評估指標(biāo)均接近商品級別。
【作者單位】： 景德鎮(zhèn)陶瓷大學(xué);國家日用及建筑陶瓷工程技術(shù)研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 噴霧裂解 FTO 方塊電阻 透光率 品質(zhì)因數(shù)
【基金】：江西省自然科學(xué)基金(20142BAB216012) 江西省教育廳落地計劃項目(KJLD13075);江西省教育廳科技備案項目(GJJ150886) 景德鎮(zhèn)市科技局項目(2012-02-20) 景德鎮(zhèn)陶瓷大學(xué)博士啟動經(jīng)費(00401130129) 國家級大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)項目(201510408001)
【分類號】：TN304.21;TB383.2
【正文快照】： 透明氧化物導(dǎo)電薄膜(transparent conductiveoxide,簡稱TCO)由于其在可見光波段優(yōu)異的透過性能及電學(xué)特性,在平面顯示器、太陽能電池等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用[1]。氟摻雜氧化錫導(dǎo)電薄膜(Sn O2:F,簡稱FTO)由于出色的光電性能及其良好的化學(xué)和熱穩(wěn)定性常作為太陽能電池器件中的電極襯

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本文編號：659372