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超聲引線鍵合中復(fù)合變幅桿的優(yōu)化設(shè)計

發(fā)布時間:2017-07-03 22:16

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【摘要】:超聲波變幅桿的結(jié)構(gòu)影響鍵合質(zhì)量,通過縱向聲波在變幅桿中的波動方程,建立了振動位移數(shù)學(xué)模型及振幅放大系數(shù)模型。以變幅桿的許用強度為約束條件,放大系數(shù)為優(yōu)化目標(biāo),構(gòu)建了變幅桿機構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計數(shù)學(xué)模型,并進(jìn)行了實例分析,為變幅桿實際應(yīng)用奠定了理論基礎(chǔ)。
【作者單位】: 蘇州大學(xué)機器人與微系統(tǒng)研究中心&蘇州納米科技協(xié)同創(chuàng)新中心;
【關(guān)鍵詞】超聲波 變幅桿 放大系數(shù) 優(yōu)化設(shè)計 數(shù)學(xué)模型
【基金】:國家863計劃項目(2011AA040404) 高等學(xué)校博士學(xué)科點專項科研基金(20133201110009) 新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計劃項目(NCET-13-0923)資助
【分類號】:TB552
【正文快照】: 高等學(xué)校博士學(xué)科點專項科研基金(20133201110009)、新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計劃項目(NCET-13-0923)資助引線鍵合由于成本低、工藝簡單、靈活、可靠性高及完善的互連解決方案,是MEMS器件最常用的封裝形式之一[1]。圖1為用于MEMS封裝的引線鍵合設(shè)備,其工作原理首先是顯微視覺機構(gòu)識

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 周光平,李明軒;超聲彎曲模式變幅桿的振動分析[J];聲學(xué)學(xué)報;2000年02期

2 胡小平,黃仕彪,張云電;圓錐形變幅桿的設(shè)計及有限元分析[J];機電工程;2005年02期

3 王時英;呂明;軋剛;;圓錐過渡復(fù)合變幅桿動力學(xué)特性研究[J];太原理工大學(xué)學(xué)報;2007年02期

4 黃霞春;李玉平;周里群;;超聲波變幅桿的參量計算[J];裝備制造技術(shù);2007年10期

5 胡志海;劉傳紹;;抗性負(fù)載超聲復(fù)合變幅桿振動特性研究[J];聲學(xué)與電子工程;2008年02期

6 閻長罡;李偉;楊亮;施志輝;石陽;于偉;;抗性負(fù)載的余弦形復(fù)合變幅桿設(shè)計及動力學(xué)特性研究[J];機床與液壓;2011年13期

7 甘露華;丁艷紅;張曉東;;高斯形復(fù)合變幅桿的有限元分析[J];制造業(yè)自動化;2013年18期

8 林書玉,張福成;大尺寸矩形截面復(fù)合變幅桿的研究[J];應(yīng)用聲學(xué);1992年05期

9 俞宏沛;非軸對稱變幅桿的設(shè)計及階梯形變幅桿圓滑過渡的研究[J];聲學(xué)與電子工程;1994年01期

10 劉W,

本文編號:515354


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