本文關(guān)鍵詞：納米有機(jī)薄膜有效導(dǎo)電層的反射光譜法研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：為研究納米厚度有機(jī)薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中有效導(dǎo)電層的判定方法,揭示反射光譜蘊(yùn)含的薄膜生長(zhǎng)機(jī)理,基于多相膜層等效結(jié)構(gòu)和光學(xué)菲涅耳方程建立了材料光學(xué)系數(shù)和膜層厚度為參數(shù)的差分反射光譜數(shù)學(xué)模型,提出了依據(jù)相對(duì)擬合誤差的擬合度評(píng)價(jià)方法.通過(guò)分析室溫真空環(huán)境納米厚度并五苯薄膜在Si/SiO_2基底上生長(zhǎng)過(guò)程的差分反射光譜,發(fā)現(xiàn)采用四相膜層結(jié)構(gòu)和并五苯薄膜晶體結(jié)構(gòu)光學(xué)系數(shù)擬合的差分反射光譜與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)符合良好,確認(rèn)并五苯分子主要以薄膜結(jié)構(gòu)的形態(tài)進(jìn)行生長(zhǎng),膜厚生長(zhǎng)速率約為0.2 nm/min.該方法避免了反射光譜中多膜層結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的干涉信號(hào)對(duì)生長(zhǎng)機(jī)理分析的影響.更為重要的是,相對(duì)擬合誤差隨生長(zhǎng)時(shí)間的變化趨勢(shì)與由薄膜構(gòu)建的場(chǎng)效應(yīng)管結(jié)構(gòu)的電學(xué)特性呈現(xiàn)出明顯的相關(guān)性,不僅反映了生長(zhǎng)過(guò)程中薄膜成膜模式的演變趨勢(shì),還清晰地揭示了有效導(dǎo)電層的形成過(guò)程,為光譜法研究薄膜生長(zhǎng)機(jī)理和無(wú)法進(jìn)行電學(xué)測(cè)試的條件下監(jiān)測(cè)薄膜電學(xué)特性提供了新手段.
【作者單位】： 天津大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院;山東大學(xué)控制科學(xué)與工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 有機(jī)薄膜 光學(xué)模型 有效導(dǎo)電層 反射光譜
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號(hào):61008028,11504201) 全國(guó)優(yōu)秀博士學(xué)位論文作者專項(xiàng)資金(批準(zhǔn)號(hào):201140) 教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃(批準(zhǔn)號(hào):11-0366) “111”引智計(jì)劃(批準(zhǔn)號(hào):B07014)資助的課題~~
【分類號(hào)】：O484.41
【正文快照】： 1引言 有機(jī)薄膜器件作為微電子、光電子、太陽(yáng)電池、生物傳感器等的核心組成部分,取得了令人矚目的發(fā)展成果[1-3],如高性能、可伸縮的場(chǎng)效應(yīng)晶體管具備高達(dá)102 cm/(V·s)的場(chǎng)效應(yīng)遷移率,可與硅基場(chǎng)效應(yīng)管相媲美[4];基于并五苯(PEN)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的蛋白質(zhì)傳感器,實(shí)現(xiàn)了牛血清白

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本文編號(hào)：472072