本文關(guān)鍵詞：基于新型TiBCN單相金屬陶瓷粉末制備納米薄膜特性的研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：TiBCN單相陶瓷粉末是一種剛問(wèn)世的新型材料,該材料具有Na Cl型面心立方(Fcc)結(jié)構(gòu),兼有陶瓷和金屬特性。在真空狀態(tài)下,當(dāng)溫度為1200℃時(shí),利用熱蒸發(fā)TiBCN粉末,在三氧化二鋁(Al_2O_3)陶瓷襯底上獲得了TiBCN薄膜。采用X射線衍射儀、場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡及能譜分析儀研究了TiBCN薄膜的組織和微觀結(jié)構(gòu),并用硬度計(jì)測(cè)試了薄膜的硬度。結(jié)果顯示,利用熱蒸發(fā)獲得了TiBCN薄膜具有面心立方晶格結(jié)構(gòu),同時(shí)含有少量六方氮化硼(h-BN)相。所制備TiBCN薄膜結(jié)晶均勻,晶粒大小約為400 nm,硬度為20.55 GPa。
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;長(zhǎng)春一東離合器股份有限公司;吉林大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院汽車(chē)材料教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;長(zhǎng)春東基材料科技有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 薄膜 TiBCN 熱蒸發(fā) 陶瓷粉末 微觀結(jié)構(gòu)
【基金】：重大科技攻關(guān)專項(xiàng)(20140203002GX)
【分類(lèi)號(hào)】：TB383.2;TQ174.1
【正文快照】： 硬質(zhì)薄膜以其高硬度、高耐磨、強(qiáng)的抗腐蝕等特性在航空、航天及民用等方面應(yīng)用廣泛。Ti N、Ti B2、B4C及c-BN等本征硬質(zhì)薄膜的研究比較成熟[1-3],但是這些薄膜有著致命的缺陷,或者應(yīng)力大,厚度難以達(dá)到應(yīng)用要求,或者單相薄膜制備困難。為解決這些問(wèn)題,硬質(zhì)薄膜的設(shè)計(jì)向著多元化

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