隨著國際單位制向量子化轉(zhuǎn)變,基于光學(xué)方法的真空計量技術(shù)成為該領(lǐng)域的研究熱點,最具代表性的是基于Fabry-Perot光學(xué)干涉腔的真空計量方法。介紹了該方法的測量原理,并對以美國NIST、瑞典Ume?和日本AIST等為代表的計量機(jī)構(gòu)的研究進(jìn)展進(jìn)行了簡要概述。介紹了本課題組研制的1臺基于Fabry-Perot光學(xué)腔的真空計量裝置的結(jié)構(gòu)組成,給出了干涉腔精細(xì)度、溫度穩(wěn)定性和激光頻率穩(wěn)定性測試結(jié)果,表明,基于Fabry-Perot光學(xué)干涉腔的真空計量方法具有高靈敏度和可靠性,可有效促進(jìn)我國真空計量技術(shù)向量子化轉(zhuǎn)變,具有良好的應(yīng)用前景。

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 實驗裝置及計算原理
2 實驗測試
    2.1 光學(xué)干涉腔精細(xì)度測試
    2.2 穩(wěn)定性測試
        2.2.1 激光頻率穩(wěn)定性測試
        2.2.2 溫度穩(wěn)定性測試
3 結(jié)論與展望



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