VO₂薄膜具有良好的熱致相變特性,在68℃附近發(fā)生絕緣-金屬態(tài)轉變（MIT）,并伴隨著結構、光學、電學和磁學等性質的突變,因其在高低溫環(huán)境下顯著的紅外調控效果引起了廣大研究者的高度重視,在智能窗領域有很好的應用前景。但要完成VO₂薄膜在該領域的成功應用需要解決低溫沉積、降低相變溫度、提高可見光透射率及薄膜顏色與環(huán)境色調匹配等問題。本文針對直流反應磁控濺射制備智能窗領域應用的VO₂薄膜,采用等離子體輻照后處理技術,研究降低相變溫度和提高可見光透射率的等離子體處理參數。通過直流反應磁控濺射法在鈉鈣玻璃基底上制備完成VO₂薄膜樣品。利用Ar/O2等離子體對VO₂薄膜進行表面輻照,分別改變等離子體輻照相關參數研究其對VO₂薄膜光電特性的影響變化趨勢,研究內容包括:（1）研究了 Ar/O2混合等離子體處理輻照功率對VO₂薄膜光電特性影響。在氬氧比為100:50的等離子體中,分別在不同功率密度（0-550W）下對VO₂薄膜表... 

【文章來源】：深圳大學廣東省

【文章頁數】：66 頁

【學位級別】：碩士

【圖文】：

離子去膠機及操作原理圖

【參考文獻】：
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本文編號：3588290