隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,智能化設(shè)備的不斷更新?lián)Q代,人們對(duì)透明導(dǎo)電膜（TCO）性能的要求原來越高,單層結(jié)構(gòu)的透明導(dǎo)電膜（ITO、AZO等）以其較低的導(dǎo)電性能早已不能滿足生產(chǎn)需求。而對(duì)TCO復(fù)合膜的研究大多局限在對(duì)于中間功能層及兩側(cè)介質(zhì)層材料的選擇搭配及介質(zhì)層材料摻雜比例的調(diào)整、濺射參數(shù)的調(diào)整、沉積條件的改變等方面。近年來,人們對(duì)TCO復(fù)合膜的研究還沒有突破性進(jìn)展,其光電性能提高不多,TCO復(fù)合膜的研究似乎已經(jīng)到達(dá)了一個(gè)瓶頸期。因此,在TCO復(fù)合膜中加入Zr-Cu、Al-Ag籽層,使TCO復(fù)合膜金屬層減薄,從而提升整個(gè)膜系光電性能,這一方法為改善TCO復(fù)合膜的性能開辟了一個(gè)新的思路,逐漸成為目前本領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。本文使用磁控濺射方式在玻璃襯底上分別制備了AZO/Cu/AZO、AZO/Zr-Cu/Cu/AZO、AZO/Ag/AZO、AZO/Zr-Cu/Ag/AZO和AZO/Al-Ag/Ag/AZO透明導(dǎo)電復(fù)合膜。用四探針電阻率測(cè)量?jī)x、可見分光光度計(jì)、原子力顯微鏡及掃描電子顯微鏡對(duì)試樣的方阻值、可見光透過率、表面粗糙度和形貌進(jìn)行了檢測(cè)表征。同時(shí)探究了膜層厚度厚度、濺射電流、試片部位、濺射靶位置對(duì)上... 

【文章來源】：山東建筑大學(xué)山東省

【文章頁數(shù)】：64 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第1章 緒論
    1.1 透明導(dǎo)電膜的發(fā)展及分類
    1.2 ZnO基透明導(dǎo)電薄膜
    1.3 TiO_2基透明導(dǎo)電薄膜
    1.4 D/M/D結(jié)構(gòu)透明導(dǎo)電薄膜
    1.5 Ag基復(fù)合膜的特點(diǎn)
    1.6 透明導(dǎo)電膜的應(yīng)用
    1.7 透明導(dǎo)電膜的制備方法
        1.7.1 真空蒸發(fā)鍍膜
        1.7.2 濺射鍍膜
        1.7.3 化學(xué)氣相沉積
        1.7.4 溶膠-凝膠法
        1.7.5 噴涂熱分解法
        1.7.6 脈沖激光沉積
    1.8 非晶合金薄膜的形成
    1.9 課題研究意義及主要內(nèi)容
第2章 實(shí)驗(yàn)及表征方法
    2.1 實(shí)驗(yàn)材料與設(shè)備
        2.1.1 實(shí)驗(yàn)材料
        2.1.2 實(shí)驗(yàn)設(shè)備
    2.2 實(shí)驗(yàn)流程
        2.2.1 基片的處理
        2.2.2 真空室的準(zhǔn)備
        2.2.3 抽真空過程
        2.2.4 預(yù)濺射過程
        2.2.5 濺射鍍膜過程
        2.2.6 取件過程
        2.2.7 低真空保護(hù)過程
    2.3 性能檢測(cè)
        2.3.1 薄膜透過率
        2.3.2 薄膜方阻
        2.3.3 薄膜表面形貌
        2.3.4 薄膜的表面粗糙度
第3章 復(fù)合膜的光學(xué)計(jì)算
第4章 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO光學(xué)和電學(xué)性能研究
    4.1 Zr-Cu厚度對(duì)AZO/Zr-Cu/Cu/AZO復(fù)合膜光學(xué)特性的影響
    4.2 Cu膜厚度對(duì)AZO/Zr-Cu/Cu/AZO復(fù)合膜光學(xué)特性的影響
    4.3 Zr-Cu 濺射電流大小對(duì) AZO/Zr-Cu/Cu/AZO 復(fù)合膜光學(xué)特性的影響
    4.4 AZO 厚度對(duì) AZO/Zr-Cu/Cu/AZO 復(fù)合膜光學(xué)特性的影響
    4.5 試片部位對(duì)AZO/Zr-Cu/Cu/AZO復(fù)合膜光學(xué)特性的影響
    4.6 濺射靶位置對(duì)AZO/Zr-Cu/Cu/AZO復(fù)合膜光學(xué)特性的影響
    4.7 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO薄膜的表征
    4.8 本章小結(jié)
第5章 AZO/Zr-Cu/Ag/AZO光學(xué)和電學(xué)性能研究
    5.1 Zr-Cu厚度對(duì)AZO/Zr-Cu/Ag/AZO復(fù)合膜光電特性的影響
    5.2 AZO厚度對(duì)AZO/Ag/AZO復(fù)合膜光電特性的影響
    5.3 Ag厚度對(duì)AZO/Ag/AZO復(fù)合膜光電特性的影響
    5.4 Ag厚度對(duì)AZO/Zr-Cu/Ag/AZO復(fù)合膜光電特性的影響
    5.5 試片部位對(duì)AZO/Zr-Cu/Ag/AZO復(fù)合膜光電特性的影響
    5.6 本章小結(jié)
第6章 AZO/Al-Ag/Ag/AZO光學(xué)和電學(xué)性能研究
    6.1 Al厚度對(duì)AZO/Al-Ag/Ag/AZO復(fù)合膜光電特性的影響
    6.2 AZO厚度對(duì)AZO/Al-Ag/Ag/AZO復(fù)合膜光電特性的影響
    6.3 本章小結(jié)
第7章 總結(jié)與展望
    7.1 本文總結(jié)
    7.2 展望
參考文獻(xiàn)
致謝
攻讀碩士學(xué)位期間論文發(fā)表及科研情況



本文編號(hào)：3304777