【摘要】：十多年前開始在真空電子技術(shù)相關(guān)工藝設(shè)備中應(yīng)用低溫泵、干泵無油系統(tǒng)來獲得超高真空,效果滿意。這次嘗試將低溫泵快速、潔凈和可靠的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)應(yīng)用到真空爐中。將低溫泵并入真空系統(tǒng)中,達(dá)到清潔的超高真空環(huán)境。本文以實(shí)例介紹了低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用;重點(diǎn)介紹了低溫泵真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)思路,真空系統(tǒng)的主要配置和注意事項(xiàng),低溫泵的選型計(jì)算,并用圖示方法詳細(xì)介紹了低溫泵系統(tǒng)的安裝、使用和維護(hù)等環(huán)節(jié)。對(duì)同類真空爐的研發(fā)和低溫泵的應(yīng)用都有參考價(jià)值。通過嚴(yán)格把關(guān)各研發(fā)環(huán)節(jié),按照超高真空規(guī)范進(jìn)行清洗,除氣和烘烤,最后真空爐的極限壓力達(dá)到了2×10~(-7)Pa,將常規(guī)的真空爐極限壓力延伸了近一個(gè)數(shù)量級(jí)。

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 ;關(guān)于舉辦致冷機(jī)低溫泵學(xué)習(xí)班的通知[J];真空;1984年04期

2 西田啟一 ,后藤正敏 ,井上邦宏 ,金原粲 ,張志平;低溫泵的特性(Ⅱ)[J];真空技術(shù)報(bào)導(dǎo);1972年04期

3 任家生 ,M.Benini ,P.Morbidi ,Officine Glileo ,Via Carlo Bini 44 ,Firenze;閉循環(huán)致冷機(jī)低溫泵的特性[J];真空;1981年05期

4 R. C. Longsworth;曾凡永;;內(nèi)徑550毫米的小型致冷機(jī)低溫泵的特性[J];真空與低溫;1983年02期

5 B A. Hands ,馮維儀;低溫泵的新發(fā)展(續(xù))[J];真空;1984年06期

6 錢進(jìn),劉炳坤,任家生,崔秀華;一種新型結(jié)構(gòu)的致冷機(jī)低溫泵[J];真空;1986年04期

7 Werner G Baechler ,慈鳳云;用于科研和工業(yè)生產(chǎn)的低溫泵[J];真空;1988年01期

8 任家生,錢進(jìn);致冷機(jī)低溫泵中光屏蔽問題的探討[J];真空;1989年03期

9 宋文杰;我國最大的致冷機(jī)式低溫泵在蘭州研制成功[J];真空;1989年03期

10 涂祖順;D C.Planchard;;低溫泵在熱工工藝中的應(yīng)用[J];真空與低溫;1992年01期

相關(guān)會(huì)議論文 前7條

1 許忠旭;劉志強(qiáng);;低溫泵故障分析及解決措施探討[A];中國真空學(xué)會(huì)2012學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集[C];2012年

2 張開達(dá);錢寅虎;;貯液式低溫泵的研制[A];上海制冷學(xué)會(huì)一九八九年年會(huì)論文集[C];1989年

3 武義鋒;徐中堂;陳家富;;一種大口徑液氮低溫泵的研制[A];第九屆全國低溫工程大會(huì)論文集[C];2009年

4 陳家富;徐中堂;;大口徑低溫泵的研制[A];中國真空學(xué)會(huì)2008年學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集[C];2008年

5 陳俊奇;;穩(wěn)定可靠、高性價(jià)比低溫泵系統(tǒng)研發(fā)與技術(shù)特點(diǎn)[A];2013年廣東省真空學(xué)會(huì)學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2013年

6 武義鋒;徐中堂;;DN900LN_2型低溫泵的研制[A];中國真空學(xué)會(huì)2012學(xué)術(shù)年會(huì)論文摘要集[C];2012年

7 王娟;朱武;歐陽崢嶸;;低溫泵輻射擋板的結(jié)構(gòu)及其對(duì)輻射熱負(fù)荷的影響[A];第四屆華東真空科技學(xué)術(shù)交流展示會(huì)學(xué)術(shù)論文集[C];2003年

相關(guān)重要報(bào)紙文章 前1條

1 孫偉　邵容平 蔡曉懋;打破壟斷一“泵”飛進(jìn)大市場(chǎng)[N];中國航天報(bào);2012年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前1條

1 劉杰;HL-2M環(huán)形低溫泵的概念設(shè)計(jì)[D];華中科技大學(xué);2008年

，

本文編號(hào)：2556830