【摘要】：采用直流反應(yīng)磁控濺射分別在200、250、300和350℃條件下沉積類富勒烯碳氮薄膜,利用X射線光電子能譜(XPS)和掃描電子顯微鏡(SEM)表征薄膜的微觀結(jié)構(gòu)形貌,采用薄膜綜合性能測(cè)試儀以及通過(guò)大氣球盤摩擦試驗(yàn)研究薄膜的力學(xué)性能及摩擦學(xué)性能。結(jié)果顯示:制備的類富勒烯CN_x薄膜中存在sp~2C-C、sp~2N-C和sp~3C-N化學(xué)鍵;隨著沉積溫度的升高,薄膜的結(jié)構(gòu)變得更加致密,硬度、彈性模量以及彈性恢復(fù)系數(shù)逐漸增大,摩擦因數(shù)和磨損率降低;沉積溫度為350℃制備的薄膜摩擦因數(shù)和磨損率最低,表現(xiàn)出優(yōu)異的耐磨損性能。
[Abstract]:Fullerene-like carbon nitrogen films were deposited by DC reactive magnetron sputtering at 200250300 鈩，

本文編號(hào)：2207375