本文選題：反射差分顯微術(shù) + 各向異性��； 參考：《紅外與毫米波學報》2017年06期

【摘要】：有機薄膜半導(dǎo)體器件在微電子和光電子領(lǐng)域具有重要的研究與應(yīng)用價值,其成膜質(zhì)量是影響器件性能的重要因素,如空間分布的均一性.采用反射差分顯微測量方法,對各向異性基底上生長的并五苯薄膜的反射差分顯微圖像進行分析,研究了該薄膜參數(shù)空間分布的非均一性,同時展示了反射差分顯微術(shù)在薄膜制備檢測及工藝研究的應(yīng)用價值.
[Abstract]:Organic thin film semiconductor devices have important research and application value in the field of microelectronics and optoelectronics. The film quality is an important factor affecting the performance of the devices, such as the uniformity of spatial distribution. The reflection differential micromeasurement method is used to analyze the reflection differential microimages of the five benzene film grown on the anisotropic substrate. The heterogeneity of the spatial distribution of the film parameters was studied, and the application value of reflection differential microscopy in film preparation, detection and process research was demonstrated.
【作者單位】： 天津大學精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室;成都工業(yè)學院機械工程學院;
【基金】：國家重點研發(fā)計劃項目(2016YFB1102203) 優(yōu)博論文作者專項資金資助項目(201140) 國家自然科學基金(61008028) 教育部留學回國人員科研啟動基金資助項目~~
【分類號】：O484

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本文編號：2060884