本文選題：干冰微粒 + 噴射��； 參考：《真空科學與技術學報》2016年08期

【摘要】：干冰微粒噴射技術是近三十年來逐漸發(fā)展起來的一種新型表面處理技術,多用于精細表面的清洗和拋光。本文綜述了干冰微粒噴射技術的發(fā)展歷程、原理、設備構成、技術參數和應用領域,重點對干冰微粒的凝結與碰撞、瞬態(tài)二氧化碳的溶解作用、其在真空領域的應用進行了討論。評述了干冰微粒噴射技術的有效性,對其仍然存在的關鍵問題以及今后的研究方向進行展望。對干冰微粒噴射技術的基礎研究、應用探索、參數優(yōu)化具有參考意義。
[Abstract]:Dry ice particle injection technology is a new surface treatment technology developed gradually in the last thirty years. It is used for cleaning and polishing of fine surface. This paper summarizes the development process, principle, equipment composition, technical parameters and application fields of dry ice particle injection technology, focusing on the condensation and collision of dry ice particles and transient carbon dioxide. The application of dissolution in the field of vacuum is discussed. The effectiveness of dry ice particle injection technology is reviewed. The key problems still exist and the future research direction are prospected. The basic research, application exploration and parameter optimization have reference significance for the dry ice particle jet technology.
【作者單位】： 中國工程物理研究院電子工程研究所;
【分類號】：TB490

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本文編號：1997435