本文選題：基底溫度 + 薄膜��； 參考：《吉林大學學報(理學版)》2016年02期

【摘要】：采用磁控濺射技術(shù)沉積碳化釩(VC)納米薄膜,研究溫度對VC薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、力學及摩擦磨損性能的影響,并分析其內(nèi)在關(guān)系.結(jié)果表明,沉積溫度升高對VC薄膜的相結(jié)構(gòu)和摩擦系數(shù)影響較小,有利于降低薄膜中的應(yīng)力和粗糙度,可提高薄膜的硬度.
[Abstract]:The effect of temperature on the microstructure, mechanical properties and friction and wear properties of VC thin films was studied by magnetron sputtering technique. The results show that the increase of deposition temperature has little effect on the phase structure and friction coefficient of VC film, which is beneficial to reduce the stress and roughness in the film and to improve the hardness of the film.
【作者單位】： 長春工程學院勘查與測繪工程學院;長春師范大學物理學院;吉林大學材料科學與工程學院;
【基金】：吉林省教育廳“十二五”科學技術(shù)研究項目(批準號:2014-326) 吉林省科技廳基金項目(批準號:2014-0101061JC)
【分類號】：TB383.1;TB383.2

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本文編號：1933604