發(fā)布時間：2021-05-24 21:34

　　半導體產(chǎn)品作為電子裝置的大腦、電力控制的心臟,隨著越來越廣泛的應用,對半導體產(chǎn)品的性能和可靠性的追求也越來越高,所以在半導體生產(chǎn)過程中力求提高良率和降低缺陷。近幾年,半導體市場的增長率開始下滑,以往那種力圖通過小型化技術來降低成本的方法已接近極限,所以半導體企業(yè)需要不斷提高產(chǎn)品的良率來降低成本,提高企業(yè)競爭力。光刻工藝在半導體生產(chǎn)中起著關鍵性的作用,從0.25微米、0.18微米到如今的0.15微米、0.13微米、甚至到90納米無不是從光刻工藝的進步革新開始的。在光刻工藝中存在著多種多樣的圖形缺陷,這些都會影響到產(chǎn)品的良率,本文主要針對0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關項目進行分析研究。本文首先從項目管理的基本理論出發(fā),結合實際闡述項目管理在社會上的實際應用與作用。其次,半導體企業(yè)的晶圓生產(chǎn)線可能不大為人所知,本文簡介半導體生產(chǎn)企業(yè)狀況和工藝,著重于先進工藝中光刻部門所面臨的挑戰(zhàn),從而引出項目管理在光刻工藝中的價值。再其次,通過分析研究項目管理在半導體企業(yè)中的應用,著重于0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關項目管理的具體實施應用,研究在本項目中所涉及的風險管理、進度管理和成本管理等方面,并提出... 

【文章來源】：復旦大學上海市 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：48 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第一章 緒論
    第一節(jié) 選題背景
    第二節(jié) 研究意義
第二章 項目管理一般理論綜述
    第一節(jié) 項目管理的意義
    第二節(jié) 項目管理的發(fā)展現(xiàn)狀和特點
    第三節(jié) 項目管理的基本內容
第三章 項目管理在半導體光刻部門的應用
    第一節(jié) 半導體代工企業(yè)現(xiàn)狀簡介
    第二節(jié) 半導體光刻工藝流程及主要光刻圖形缺陷
    第三節(jié) 項目管理在光刻部門的應用
第四章 0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關項目的管理實施
    第一節(jié) 0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關項目特點分析
    第二節(jié) 0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關項目范圍管理
    第三節(jié) 0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關項目風險評估
    第四節(jié) 0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關項目進度管理
    第五節(jié) 0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關項目成本管理
    第六節(jié) 0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關項目結束
第五章 0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關項目總結
    第一節(jié) 0.15微米工藝光刻圖形缺陷攻關項目的成果和價值
    第二節(jié) 項目管理的在半導體企業(yè)的局限性和展望
參考文獻
致謝



本文編號：3204899